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Mittwoch, Mai 12, 2021

ALD-Prozesse

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Steigert Leistung von Halbleitern: Japanisches Unternehmen entwickelt neuartigen Ruthenium-Präkursor

"TRuST"-Präkursor von TANAKA verbessert die Filmbildungsgeschwindigkeit bei der Gasphasen- und Atomlagenabscheidung Die TANAKA Kikinzoku Kogyo K.K., ein japanisches Unternehmen, welches das Edelmetallgeschäft der TANAKA Holding betreibt, bringt im Oktober 2020 einen neuen Ruthenium-Präkursor auf den Markt, Dank seiner neuartigen Molekularstruktur sorgt der sogenannte TRuST-Präkursor bei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), Atomlagenabscheidung (ALD) und bei anderen Prozessen zur Bildung dünner Metallfilme oder Metallverdrahtungen für eine bessere Stufenabdeckung und eine verbesserte Filmbildungsgeschwindigkeit. Laut TANAKA wird die Innovation damit...

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Aktuelle Pressemeldungen

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